MEMS(Micro Electro Mechanical Systems：微小電気機械システム)技術は新しい製造技術として、我が国では90年代、世界に先駆けて産官学での挑戦が始まりました。現在では、このＭＥＭＳ技術と半導体技術、ナノ技術とを融合させる試みが、大学、産業界を中心に進められています。これにより2000年以降、自動車、各種製造機器、情報機器、通信機器等の小型・高性能・多機能化をもたらし、現在の我が国の産業競争力強化に貢献しています。今後、このMEMS技術がさらに飛躍的な技術の発展を遂げ、その応用範囲を急速に広げることで、国家・社会的課題である「環境・エネルギー」、「医療・福祉」、「安全・安心」分野で新しいライフスタイルを創出する革新的デバイスを創出することが急務とされています。このためには、基盤技術であるプロセス技術の確立が必須となりますが、従来電子・機械製造技術と完全に異分野とされてきた技術とを融合させる等、これまでの製造技術の概念・常識を打ち破った技術を創出することが肝要です。
以上の点から本プロジェクトは、ナノテクノロジー、バイオテクノロジーなどの様々な分野にわたるサイエンスとエンジニアリングを融合させ、将来の革新的次世代デバイスの創出に必要な新しいコンセプトに基づいた基盤的プロセス技術群を開発し、さらにそのプラットフォームを確立することを目的としています。
|
プロジェクトの概要 
プロジェクトリーダー