研究開発項目：高機能センサネットシステムと低環境負荷型プロセスの開発
１）高機能センサネットシステム開発
	大口径MEMS用クリーンルームにおける各製造・評価装置や空調、純水製造等の周辺装置の消費エネルギー、温度、圧力、風量、異物粒子、ガスなどをセンシングし、省資源、高効率に最も適した集積化センサチップ及びセンサネットワークシステムを検証するとともに、省エネルギー、低炭素化などに関する効果を分析するための、センサネットワークシステムを試作する。
２）低環境負荷型プロセス技術開発
	シリコン貫通深掘り加工、様々な異種デバイスをウェハレベルで一括集積化する技術、及び多品種少量生産における製造歩留り向上、性能ばらつき低減を目指したMEMS三次元設計・計測情報の共有化技術などを開発する。