最先端８インチMEMS製造ラインを産総研UMEMSME 内に導入しました。本ラインを導入した大口径MEMS用クリーンルームにはセンサーネットを張り巡らし、オンデマンド型のエネルギーマネージメント方式（Green Operation On Demand）の実証実験を行いました。将来的には量産試作検証を可能とし、プロセスのグリーン化と製造施設のグリーン化を追求した低環境負荷型MEMSラインの確立を目指し、オーペンイノベーション拠点の中核設備として機能することが期待されます。