さらなるグリーンプロセス化技術として、一連の製造プロセスの欠陥・ばらつきなどを極小化し高信頼性を確保するためのスマートプロトタイピングの研究開発や、環境に優しいポリマー材料を用いたMEMSデバイスの研究開発に取り組みました。やはりこれらの研究も、2010年度においては初動研究を行いました。

活動の概要　1.　2.　3.　4.　5.　6.　7.　8.　9.