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Macro Beans Center
センター長 伊藤 寿浩 |
Macro BEANSセンターでは、従来のMEMS技術では製造が困難な大面積デバイスを実現するため、マイクロ・ナノ構造大面積・連続製造プロセス技術の開発に取り組んでいます。
近年、環境・エネルギー、健康・医療分野では、メーター級大面積エネルギーハーベスティングデバイスの大幅な低コスト化とともにマイクロ・ナノ構造搭載による高機能化が期待されています。また、、ウェアラブル発電、安全・安心ジャケット、シート型健康管理デバイス等の３次元自由曲面に装着可能な新形態のフレキシブルシートデバイスの実現が望まれています。
そこで、センターでは、メーター級大面積デバイスの高機能化、低コスト化のために、マイクロ・ナノ構造を有する高品位機能膜をメーター級の基板に真空プロセス装置を用いずに形成する非真空高品位ナノ機能膜大面積形成プロセス技術を開発しています。また、メーター級のフレキシブルシートデバイスを基板の大面積化を伴うことなく実現する、製織技術などを活用した新たな繊維状基材連続微細加工・集積化プロセス技術を開発しています。
Macro BEANSセンターは、産総研のつくば東事業所内に拠点を置き、産総研のMacro BEANS連携研究体やMEMS関連グループの研究者、三菱電機、古河電工、太陽誘電からの出向研究者、マイクロマシンセンター所属研究者、群馬大学からの兼業研究者及びみずほ情報総研と三菱電機からの交流研究者等のメンバーから構成されています。
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Macro BEANSセンターでは、研究項目③「マイクロ・ナノ構造大面積・連続製造プロセス技術の開発」 に関する研究開発を実施しています。
（１）非真空高品位ナノ機能膜大面積形成プロセス技術
(1)-1
非真空マイクロ・ナノ構造高品位機能膜形成プロセス
(1)-2 ナノ材料大面積均質形成プロセス
(1)-3
大型基板直接高速加工プロセス
（２）繊維状基材連続微細加工・集積化プロセス技術
(2)-1
連続的高品位機能膜被覆プロセス
(2)-2 ３次元ナノ構造高速連続形成加工技術
(2)-3 異種繊維状基材の製織技術
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（独）産業技術総合研究所 集積マイクロシステム研究センター
Macro BEANS連携研究体内 Macro BEANSセンター
〒305-8564 茨城県つくば市並木1-2-1
TEL:029-868-3883 FAX:029-868-3884
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