BEANS ＞ 研究成果　2012年度 | 2011年度 | 2010年度 | 2009年度 | 2008年度
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　　　研究成果（MacroBEANSセンター）
2012年度 | 2011年度 | 2010年度 | 2009年度 | 2008年度
　2012年度
　【特許】
  • 2012年度研究成果として8件出願．

　【学会発表，論文】
  1. Khumpuang Sommawan，三宅晃司，伊藤寿浩，「マイクロカンチレバーアレイを用いたフレキシブルデバイス用接点構造の特性評価」，電気学会論文誌E，Vol.132，No.4
  2. 高松誠一，今井孝彦，伊藤寿浩，"Human position sensing device with high conductive polymer-coated fibers"，ICEP-IAAC2012，東京ビッグサイト東京都江東区，2012年4月
  3. 内藤皓貴，紺野伸顕，徳永隆志，伊藤寿浩，"Development of Local Ambient Gas Control Technologies for Atmospheric MEMS Process"，DTIP2012， Cannes， France，2012年4月
  4. 三宅晃司，伊藤寿浩，"Characterization of Conductive Polymer Coated Silicone Elastomer Contact Structure for Woven Electronic Textile"，DTIP2012， Cannes， France，2012年4月
  5. 高田尚樹，松本純一，松本壮平，「Phase-fieldモデルを援用した混相流のCFDシミュレーション」，第7回ホットな話題の講習会「様々なプロセス技術を考えるCFDシミュレーション」，東京理科大学森戸記念館第一フォーラム，2012年5月
  6. 大友明宏，銘苅春隆，高木秀樹，小久保光典，後藤博史，"Fast and Continuous Patterning on the Surface of Plastic Fiber by Using Thermal Roller Imprint"，EIPBN2012，ハワイ、米国，2012年5月
  7. 伊藤寿浩，"Continuous Process for Large-area Flexible MEMS"，CIMTEC2012，モンティカティーニテルメ，イタリア，2012年6月
  8. 銘苅春隆，大友明宏，高木秀樹，"Effect of buffer materials on thermal imprint on plastic optical fiber"，Microsystem Technologies
  9. 銘苅春隆，大友明宏，高木秀樹，小久保光典，後藤博史，"Reel-to-reel imprint system to form weaving guides on fibers“，Microelectronics Engineering
  10. 高田尚樹，松本壮平，松本純一，「マイクロ中空繊維基材内二相流に対する一次元二流体モデルの適用」，日本混相流学会年会講演会2012，東京大学柏キャンパス，2012年8月
  11. 今井孝彦，高松誠一，白石賢二，丸本一弘，伊藤寿浩，"Photovoltaic Textiles Manufactured with Precision Die Coating"，EUROSENSORS2012，2012年9月
  12. 高松誠一，三宅晃司，伊藤寿浩，"Fabrication of conductive polymer coated elastomer contact structures using a reel-to-reel continuous fiber process"，IEICE Electronics Express Vol．9，No．17，pp.1442-1447，2012年9月
  13. 銘苅春隆，大友明宏，高木秀樹，小久保光典，後藤博史，"High-speed imprinting on POF using cylindrical mold with hybrid microstructures"，MNE2012，トゥールーズ、フランス，2012年9月
  14. 内藤皓貴，須田和美，徳永隆志，伊藤寿浩，"DOPING AND ELECTRONIC PROPERTIES OF SILICON FILMS DEPOSITED BY ATMOSPHERIC PRESSURE PLASMA ENHANCED CHEMICAL TRANSPORT"，JCK　MEMS/NEMS2012，上海、中国，2012年9月
  15. 田中寛子，高松誠一，小林健，今井孝彦，伊藤寿浩，"HUMAN POSITION SENSING WITH METER-SCALE FABRIC TOUCH SENSORS"，JCK MEMS/NEMS2012，上海、中国，2012年9月
  16. 今井孝彦，柴山学久，高松誠一，白石賢二，丸本一弘，伊藤寿浩，"Precision Die Coating Process for Textile Integration"，IUMRS-ICEM2012，パシフィコ横浜，神奈川県横浜市，2012年9月
  17. 内藤皓貴，紺野伸顕，徳永隆志，伊藤寿浩，"Conductivity Control of Polycrystalline-Silicon Deposited by Atmospheric Pressure Plasma Enhanced Chemical Transport"，IUMRS-ICEM2012，パシフィコ横浜，神奈川県横浜市，2012年9月
  18. 高松誠一，今井孝彦，伊藤寿浩，"Flexibility evaluation of conductive polymer-based large-area touch sensors"（「メートル級タッチセンサの曲げ特性の評価」），IUMRS-ICEM2012，パシフィコ横浜，神奈川県横浜市，2012年9月
  19. 高松誠一，三宅晃司，伊藤寿浩，"Evaluation of Conductive Polymer Coated Elastomer Contact Structures Using Large Area Woven Sheets"，IUMRS-ICEM2012，パシフィコ横浜，神奈川県横浜市，2012年9月
  20. 高田尚樹，松本純一，松本壮平，「濡れ性が不均一な固体表面上のマイクロデバイス二相流体問題への拡散界面追跡計算法の適用」，第25回計算力学講演会日本機械学会計算力学部門，計算科学振興財団，兵庫県神戸市，2012年10月
  21. 高木秀樹，大友明宏，銘苅春隆，小久保光典，後藤博史，「大面積デバイスのための繊維状基材への連続微細パターン高速成型」，電気学会　第29回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム，北九州国際会議場および西日本総合展示場　福岡県北九州市，2012年10月
  22. 高松誠一，小林健，伊藤寿浩，「環境発電アプリケーションのための低共振周波数圧電ポリマーシートの開発」，電気学会　第29回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム，北九州国際会議場および西日本総合展示場　福岡県北九州市，2012年10月
  23. 内藤皓貴，紺野伸顕，徳永隆志，伊藤寿浩，「開放系でのプラズマプロセス実現に向けた雰囲気制御技術開発」，電気学会 第29回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム，北九州国際会議場および西日本総合展示場，福岡県北九州市，2012年10月
  24. 銘苅春隆，大友明宏，高木秀樹，小久保光典，後藤博史，"Manufacturing of Smart Fibers by High-Speed Reel-To-Reel Thermal Imprint Using Cylindrical Mold"，The 11th International Conference on Nanoimprint and Nanoprint Technology， NAPA， CA， USA，2012年10月
  25. 松本壮平，高田尚樹，松本純一，「繊維状表示素子のための細管内均一セル状構造形成プロセス」，日本機械学会第４回マイクロ・ナノ工学シンポジウム，北九州国際会議場および西日本総合展示場，福岡県北九州市，2012年10月
  26. 張毅，Yang Zhuoqing，伊藤寿浩，"Development of an Imprintable Micro Tenperature Sensor Fabricated on the Capillary for Biomedical and Microfluidic Monitoring"，IEEE Sensors 2012，台北、台湾，2012年10月
  27. 内藤皓貴，紺野伸顕，徳永隆志，伊藤寿浩，"Low temperature deposition of doped polycrystalline silicon at atmospheric pressure and its application to a strain gauge"，IEEE Sensors 2012，台北、台湾，2012年10月
  28. 大友明宏，銘苅春隆，高木秀樹，小久保光典，後藤博史，"Fast and Continuous Patterning on the Surface of Plastic Fiber by Using Thermal Roller Imprint"，Journal of Vacuum Science and Technology B， Vol.30， issue 6
  29. 高松誠一．小林健，伊藤寿浩，「シリコーンエラストマーを用いた製織シートデバイス用接点構造の開発とその特性評価」，エレクトロニクス実装学会誌Vol.15，No.6，pp1-7（2012）
  30. 張毅，伊藤寿浩，内山勝語．早瀬仁則，"Spray coating deposition of thin resist film on fiber substrate"，Japanese Journal of Applied Physics Vol.51， No.11
  31. 田中寛子，高松誠一，小林健，今井孝彦，伊藤寿浩，"HUMAN POSITION SENSING WITH METER-SCALE FABRIC TOUCH SENSORS"，Bio4Apps2012，2012年11月
  32. 高松誠一，今井孝彦，伊藤寿浩，「メートル級タッチセンサを用いた人の位置検出デバイスについて」，MRS2012，Boston USA，2012年11月
  33. 銘苅春隆，廣島洋，スマートウェアラブル講演会，地場産業振興センター，石川県金沢市，2012年12月
  34. 張毅，Yang Zhuoqing，伊藤寿浩，"A FLEXIBLE IMPLANTABLE MICRO TEMPERATURE SENSOR ON POLYMER CAPILLARY FOR BIOMEDICAL APPLICATIONS"，IEEE MEMS2013，台北，台湾，2013年1月
  35. 松本純一，高田尚樹，松本壮平，” Two-Phase Flow Analysis based on a Phase-Field Model using Implicit Finite Element Method”， FEF2013，San Diego, California，USA，2013年2月
  36. 松本純一，高田尚樹，松本壮平，「Phase-fieldモデルを用いた二相流有限要素解析における体積補正法の検討」，第62回理論応用力学講演会，東京工業大学大岡山キャンパス，2013年3月
  37. 高田尚樹，松本純一，松本壮平，「二相流体流れシミュレーションのための保存形拡散界面移流方程式の数値解法」，第62回理論応用力学講演会，東京工業大学大岡山キャンパス，2013年3月
  38. 銘苅春隆，大友明宏，高木秀樹，小久保光典，後藤博史，「シームレス円筒モールドによる繊維状基材の高速成形」，2013年第60回応用物理学会春季学術講演会，神奈川県工科大学，2013年3月
  39. 高松誠一，小林健，伊藤寿浩，「リールツーリールによる環境発電用基材形成プロセスの開発」，第27回エレクトロニクス実装学会講演大会，東北大学　川内北キャンパス，2013年3月
  40. 銘苅春隆，「繊維状基材表面への立体インプリント技術開発」，電気学会A部門第9回リソグラフィ次世代技術調査専門委員会，2013年3月
  41. 高木秀樹，銘苅春隆，大友明宏，小久保光典，後藤博史，"High-speed Continuous Micro Pattern Fabrication on Fibers for Large-area Devices"，電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌）
  42. 銘苅春隆，「アモルファス材料の熱インプリント用モールドへの適用とその加工方法」，精密工学会誌
  43. 高松誠一，小林健，伊藤寿浩，"Characterization of an all polymer piezoelectric film using a reel-to-reel continuous fiber process "，Design， Test， Integration & Packaging of MEMS/MOEMS (DTIP) 2013，スペイン・バルセロナ，2013年4月　
  44. 内藤皓貴，紺野伸顕，徳永隆志，伊藤寿浩，「開放系でのプラズマプロセス実現に向けた雰囲気制御技術開発」，"電気学会　センサ・マイクロマシン(E)部門誌Vol.133/No.5
  45. 高松誠一，小林健，伊藤寿浩，"Development of a fabrication process for a piezoelectric energy harvesting film using a reel-to-reel continuous fiber process" ，Transducers 2013， Barcelona， Spain，2013年6月
  46. 高松誠一，三宅晃司，伊藤寿浩，「シリコーンエラストマーを用いた製織シートデバイス用接点構造の開発とその特性評価」，表面実装技術（韓国、尖端社）
  47. 内藤 皓貴，紺野 伸顕，徳永 隆志，伊藤 寿浩，"Development of Local Ambient Gas Control Technologies for Atmospheric MEMS Process"，Microsystem Technologies
  48. 内藤 皓貴，紺野 伸顕，徳永 隆志．伊藤 寿浩，"Doping characteristics of polycrystalline silicon deposited by chemical transport at atmospheric pressure and its application to MEMS sensor"，IEEE Sensors Journal， Special Issue of Best Papers from IEEE SENSORS 2012

　【講演・展示】
  1. 「フレキシブル接点構造による製織型シートデバイスの信頼性向上技術」，一般社団法人エレクトロニクス実装学会 マイクロメカトロニクス実装技術委員会 e-テキスタイル研究会，2012年2月

　【受賞実績】
  1. ICEP2011 Award（ICEP2011 Outstanding Techinical Peper Award），Yoshinori Yokoyama， Takaaki Murakami， Takashi Tokunaga，Toshihiro Itoh，“Silicon Microparticle Ejection Using Mist-jet Technology“
　2011年度

　【特許】
  • 2011年度研究成果として3件出願．

　【学会発表，論文】
  1. Yoshinori Yokoyama, Takaaki Murakami, Takashi Tokunaga and Toshihiro Itoh, "Silicon Microparticle Ejection Using Mist-jet Technology", ICEP2011 International Conference on Electronics Packaging
  2. 高松誠一，小林健，柴山学久，三宅晃司，伊藤寿浩, "Meter-scale surface capacitive type of touch sensors fabricated by weaving conductive-polymer -coated fibers", DTIP2011 Symposium on Design,Test,Integration & Packaging of MEMS/MOEMS
  3. 高松誠一，小林健，柴山学久，三宅晃司，増田敦士，村上哲彦，伊藤寿浩, 「繊維状基材への有機導電膜と紫外線硬化樹脂連続形成とその製織技術を用いたプロジェクションキャパシティブ型タッチセンサ」, 日本繊維機械学会第５４大会
  4. 銘苅春隆，高木秀樹，大友明宏，小久保光典，後藤博史, "Soft Patterning on Cylindrical Surface of Plastic Optical Fiber by Sliding Roller-Imprinting", EIPBN2011
  5. Yoshinori Yokoyama, Takaaki Murakami, Yukihisa Yoshida and Toshihiro Itoh, "Mist Ejection of Silicon Microparticle Using a Silicon Nozzle", 電気学会論文誌Ｅ（センサマイクロマシン部門誌）6月号
  6. Zhang, Y, Lu, J.. Ohtomo, A., Mekaru, H., and Itoh, T. , "Continuous Photolithography System and Technology for Fiber Substrate.", Transducers 2011
  7. 銘苅春隆，大友明宏，高木秀樹, "Ｅｆｆｅｃｔ　of Ｂｕｆｆｅｒ　Ｍａｔｅｒｉａｌｓ　ｏｎ　Ｔｈｅｒｍａｌ　Ｉｍｐｒｉｎｔ　ｏｎ　Ｐｌａｓｔｉｃ　Ｏｐtical Fiber", HARMSＴ2011
  8. 張毅，大友明宏，銘苅春隆，高木秀樹，松本壮平，伊藤寿浩, "Three-Dimentional Lithography Technology of Fiber Substrate", International Conference on Materials for Advanced Technologies, 4th Asian Nanoimprint
  9. 大友明宏，銘苅春隆，高木秀樹，小久保光典，後藤博史, "A Process Optimization of "Sliding Roller Imprint"system Equipped wiyh a Reel-to-Reel Mechanism", 4ｔｈ　Ａｓｉａｎ　Ｎａｎｏｉｍｐｒｉｎｔ Ｌｉｔｈｏｇｒａｐｈｙ　Ｓｙｍｐｏｓｉｕｍ
  10. 大友明宏，銘苅春隆，高木秀樹，小久保光典，後藤博史, 「スライドプレス型リールツーリール熱インプリントシステムの開発」, 電気学会論文誌Ｅ，Ｖol131,No.7, pp.240-245
  11. Yoshinori Yokoyama, Takaaki Murakami, Takashi Tokunaga and Toshihiro Itoh, "Silicon Microparticle Ejection Using Mist-jet Technology", 電気学会論文誌Ｅ（センサマイクロマシン部門誌）８月号
  12. 高田尚樹，松本純一，松本壮平, 「拡散界面モデルに基づく二相・三相流体数値シミュレーション」, 日本混相流学会年会講演会2011
  13. 内藤晧貴，須田和美，紺野伸顕，徳永隆志，伊藤寿浩, "Local Ambient Gas Control Technology for Atmospheric Pressure Plasma Applications", ＪＣＫ　NEMS/MEMS 2011
  14. 須田和美，内藤晧貴，紺野伸顕，徳永隆志，伊藤寿浩, "Characteristics of Silicon Films Deposited by Atmospheric Pressure Plasma Enhanced Chemical Transport", ＪＣＫ　NEMS/MEMS 2011
  15. S. Takamatsu, T. Kobayashi, T. Imaia and T. Itoh, "All polymer piezoelectric film for the application to low resonance frequency energy harvester", Ｅｕｒｏｓｅｎｓｏｒｓ　2011 田中寛子，高松誠一，小林健，今井孝彦，三宅晃司，伊藤寿浩, "Meter-scale fabric touch sensors fabricated by die-coating and weaving techniques", ＪＣＫ　NEMS/MEMS 2011
  16. S Khumpuang1, A Ohtomo, K Miyake and T Itoh, "Fabrication and evaluation of a microspring contact array using a reel-to-reel continuous fiber process", Ｊournal of Micromechanics and Microengineering, Vol.21, No.10, pp.105019 (2011)
  17. 銘苅春隆，大友明宏，高木秀樹，小久保光典，後藤博史, "Reel-to reel imprint system to form weavimg guides on fibers", ＭＮＥ2011
  18. 新田仁，浅海和雄，入江康郎，横山吉典，徳永隆志, 「大気圧プラズマシミュレーションによる安定放電条件の検討」, 第28回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
  19. 内藤晧貴，横山吉典，紺野伸顕，徳永隆志，伊藤寿浩, 「大気圧プラズマ化学輸送法を用いたシリコン膜の特性評価」, 第28回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
  20. 大友明宏，銘苅春隆，高木秀樹，小久保光典，後藤博史, 「リールツーリール熱ローラーインプリントによる製織ガイド連続成形」, 第２８回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
  21. 今井孝彦，柴山学久，伊藤寿浩, 「ダイコーティング法による繊維状基材へのナノ薄膜形成と太陽電池」, 第28回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
  22. Khumpuang Sommawan，三宅晃司，伊藤寿浩, 「マイクロカンチレバーアレイを用いたフレキシブルデバイス用接点構造の開発」, 第28回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
  23. 張毅，内山勝語，早瀬仁則，Jian Lu，大友明宏，高木秀樹，伊藤寿浩, 「繊維状基材の直接リソグラフィー技術と装置」, 第28回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
  24. 高田尚樹，松本純一，松本壮平, 「フェーズフィールドモデルアプローチによる二相・三相流界面追跡シミュレーション」, 日本機械学会第２４回計算力学講演会
  25. 三宅晃司，伊藤寿浩, 「フレキシブルデバイス用接点評価技術の開発」, 第二回五感プレスタディ分科会
  26. 高松誠一，小林健，今井孝彦，三宅晃司，伊藤寿浩, "Flexible fabric keyboard with conductive polymer coated fibers", ＳＥＮＳＯＲＳ　2011
  27. Mekaru, Harutaka, Takagi, Hideki, Ohtomo, Akihiro, Kokubo, Mitsunori, and Goto, Hiroshi , "Soft Patterning on Cylindrical Surface of Plastic Optical Fiber", Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures, Volume: 29, Issue: 6, 2011, 06FC07 - 06FC07-7
  28. Yoshinori Yokoyama, Takaaki Murakami, Takashi Tokunaga and Toshihiro Itoh, "Ｓｉｌｉｃｏｎ　Ｍｉｃｒｏｐａｒｔｉｃｌｅ　Ｅｊｅｃｔｉｏｎ　Ｕｓｉｎｇ　Ｍｉｓｔ－ｊｅｔ　Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ", Transactionｓ of The Japan Institute of Electronics Packaging Vol.4 No.1,2011 December
  29. K. Miyake and T. Itoh, "CONDUCTIVE POLYMER COATED ELASTOMER CONTACT STRUCTURE FOR WOVEN ELECTRONIC TEXTILE", MEMS2012
  30. S. Takamatsu, K. Kurihara, T. Imai and T. Itoh, "HIGH CONDUCTIVE ORGANIC CONJUGATED POLYMER PATTERNING WITH UV-NANOIMPRINT-BASED SURFACE MODIFICATION AND SECOND DOPING", MEMS2012
  31. 大友明宏，銘苅春隆，高木秀樹，小久保光典，後藤博史, 「リールツーリール熱ローラーインプリントによる製織ガイド連続成形」, 電気学会論文誌Ｅ，Vol. 132 (2012) No. 2 P 37-4
  32. 高田尚樹，松本壮平，松本純一, 「マイクロ流路内二相流に対する一次元数値解析モデルの適用」, 第61回理論応用力学講演会 （日本学術会議　合同IUTAM分科会）
  33. 三宅晃司，伊藤寿浩, 「シリコーンエラストマーを用いたフレキシブルデバイス用接点構造」, 第26回エレクトロニクス実装学会講演大会
  34. 銘苅春隆，大友明宏，高木秀樹，小久保光典，後藤博史, 「熱インプリントによる繊維状基材のパターニング」, 2012年春季第59回応用物理学関係連合講演会
  35. Yoshinori Yokoyama, Takaaki Murakami, Shinichi Izuo, Yukihisa Yoshida and Toshihiro Itoh,, "Application of silane-free atmospheric-plasma silicon deposition to MEMS devices", Sensors and Actuators A:Physical, Volume 177, April 2012, Pages 105?109

　【講演・展示】
  1. 張毅，伊藤寿浩，前田龍太郎, "Development of Fiber MEMS Technology", 仙台マイクロナノ国際フォーラム2011

　【刊行物】
  1. 内藤晧貴, 電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌）, 「JCK MEMS/NEMS2011(The 2nd Japan-China-Korea Joint Conference on MEMS/NEMS for Green & Life Innovation and Industrial Convergence)報告」

　2010年度

　【特許】
  • 2010年度研究成果として6件出願．

　【学会発表，論文】
  1. Toshihiro Itoh and Seiichi Takamatsu,"Continuous nano/micro-machining and weaving integration process for fiber substrates",Symposium on Design Test, Integration & Packaging of MEMS/MOEMS(DTIP2010).
  2. 松本純一, 高田尚樹, 松本壮平,｢陰的混合有限要素法によるPhase-Field界面モデル気液二相流解析｣,第15回計算工学講演会　(2010).
  3. 村上隆昭, 吉田幸久, 横山吉典, 伊藤寿浩,｢プラズマ化学輸送法により作製したシリコン膜特性評価｣,電気学会論文誌E部門平成22年6月号　(2010).
  4. H. Mekaru, A. Ohtomo,H and Takagi,"Hot Press on Plastic Fibers using Plane Mold",The 3rd Asian Symposium on Nano Imprint Lithography, ASNIL2010　(2010).
  5. Harutaka Mekaru and Masaharu Takahashi,"Imprinting of guide structure to weave nylon fibers",Journal of Vacuum Science and Technology A28(4),Jul/Aug 2010　(2010).
  6. A. Ohtomo, H. Mekaru, H. Takagi, M.Kokubo and H. Goto,"A Reel-to-Reel Thermal Imprint System for Fiber Substrate",The 3rd Asian Symposium on Nano Imprint Lithography, ASNIL2010　(2010).
  7. 松本壮平, 高田尚樹, 松本純一,｢中空繊維状基材内微細セル状構造作成プロセス｣,日本機械学会論文集C2編2010年8月号，マイクロ・ナノ工学シンポジウム小特集　(2010).
  8. Yukihisa Yoshida, Takaaki Murakami, Kazumi Suda, Yoshinori Yokoyama and Toshihiro Itoh,"Silicon Films Deposited by Plasma Enhanced Chemical Transport under Atmospheric Pressure and Their Structural Properties",The 1st Japan-China-Korea joint seminar on MEMS/NEMS for Green & Life Innovation　(2010).
  9. Yoshinori Yokoyama, Kazumi Suda, Takaaki Murakami, Yukihisa Yoshida and Toshihiro Itoh,"Novel Mist-Jet Technology for Silicon Microparticle Ejection",The 1st Japan-China-Korea joint seminar on MEMS/NEMS for Green & Life Innovation　(2010).
  10. Sommawan Khumpuang, Koji Miyake and Toshihiro Itoh,"Electrical Contact Behavior of Organic Conductive Polymer Coated Fiber with Metal Wire in the Application of Electronic Textile",The 1st Japan-China-Korea joint seminar on MEMS/NEMS for Green & Life Innovation　(2010).
  11. S. Takamatsu, T. Kobayashi, N. Shibayama, K. Miyake, H. Tanaka and T. Itoh,"Large-Area and Hemispherical-Surface-Implementable Touch Sensors Fabricated by Weaving of Die-Coated Yarns",The 1st Japan-China-Korea joint seminar on MEMS/NEMS for Green & Life Innovation　(2010).
  12. 銘苅春隆, 小林健, 伊藤寿浩,｢熱インプリントによる製織ガイド構造の形成｣,2010年秋季第71回応用物理学会学術講演会
  13. Harutaka Mekaru, Akihiro Ohtomo, Hideki Takagi, Mitsunori Kokubo and Hiroshi Goto,"Development of reel-to-reel process system for roller-imprint on plastic fibers",36th International Conference on Micro and Nano Engineering 2010.
  14. 高田尚樹, 松本純一, 松本壮平,｢フェーズフィールドモデルアプローチによるマイクロ二相流数値シミュレーション｣,第23回計算力学講演会　(2010).
  15. 銘苅春隆, 小林健, 伊藤寿浩,｢ナイロンファイバー表面への製織ガイド構造成形｣,2010年度精密工学会秋季大会.
  16. Harutaka Mekaru, Akihiro Ohtomo, Hideki Takagi, Mitsunori Kokubo and Hiroshi Goto,"Roller Imprint System Combined With Reel-To-Reel Feeding Device",The 9th International Nanoimprint and Nanoprint Technology Conference　(2010).
  17. 横山吉典, 村上隆昭, 吉田幸久, 伊藤寿浩,｢Siノズルを用いたSi微粒子のミスト吐出｣,電気学会第27回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム　(2010).
  18. Yao Lu, Yi Zhang, Jian Lu, Akiko Miura, Sohei Matsumoto and Toshihiro Ito,"Spray Coating of Thin and Uniform Photoresist Layer on Fiber Substrate",電気学会第27回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム　(2010).
  19. 大友明宏, 銘苅春高, 高木秀樹, 小久保光典, 後藤博史,｢スライドプレス型リールツーリール熱インプリントシステムの開発｣,電気学会第27回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム　(2010).
  20. 村上隆昭, 吉田幸久, 横山吉典, 伊藤寿浩,｢プラズマ化学輸送法を用いた700Torrでのシリコン成膜｣,電気学会第27回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム　(2010).
  21. クンプアン　ソマワン, 三宅晃司, 伊藤寿浩,｢エレクトロニクステキスタイルによる、ファイバー基材（PEDOT:PSS/SWNT)のカンチレバー接点の電気的特性評価について｣,電気学会第27回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム　(2010).
  22. 高松誠一, 小林健, 柴山学久, 三宅晃司,｢繊維状基板上への有機電子膜形成と製織技術を用いた大面積タッチセンサ｣, 伊藤寿浩,電気学会第27回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム　(2010).
  23. 柴山学久, 伊藤寿浩,｢ダイコーティング法による繊維状基材への連続的高速ナノ薄膜形成技術｣,電気学会第27回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム　(2010).
  24. Yao Lu, Yi Zhang, Jian Lu, Akiko Miura, Sohei Matsumoto and Toshihiro Ito,"Micro Patterning Technology for Fiber Substrate",MNC2010.
  25. 村上隆昭,｢大気圧プラズマを用いた大面積対応Si成膜技術～BEANSプロジェクトにおける取組み～｣,反応工学部会 CVD反応分科会主催 ミニシンポジウム 超高速・大面積製膜プロセス,(2010).
  26. Y. Yokoyama, T. Murakami, S. Izuo, Y. Yoshida and T. Itoh,"SILEN-FREE ATMOSPHERIC-PLASMA SILICON DEPOSITION FOR MEMS DEVICES",IEEE MEMS2011.
  27. S. Khumpuang, A. Ohtomo, N. Shibayama, K. Miyake and T. Itoh,"Novel Conductive Polymer Micro-Spring Contact Array for Large Area Woven Electronic Textile",IEEE MEMS2011.
  28. 横山吉典, 村上隆昭, 徳永隆志, 伊藤寿浩,｢異方性エッチングによるSiノズルを用いたSi微粒子のミスト吐出｣,第25回エレクトロニクス実装学会講演大会　(2011).
  29. 松本純一, 高田尚樹, 松本壮平,｢Phase-Field モデルを用いた一億自由度気液二相流有限要素解析｣,第60回理論応用力学講演会　(2011).
  30. 高松誠一, 小林健, 柴山学久, 三宅晃司, 伊藤寿浩,｢製織技術を用いたメーター級大面積タッチセンサの研究｣,第25回エレクトロニクス実装学会講演大会　(2011).
  31. 内山勝語, 早瀬仁則, 張毅, 高木秀樹, 伊藤寿浩,｢繊維状基材への直接リソグラフィのための均一なレジスト薄膜形成プロセス｣,平成23年電気学会全国大会シンポジウム　(2011).

　【TV･新聞報道】
  1. 日経産業新聞2010年12月27日　Macro BEANSセンター　｢大気中で製造，コスト1/10｣
  2. 日本経済新聞2011年1月7日　Macro BEANSセンター　｢ハンカチが太陽電池に　-　電気通す布｣
  3. 寝具新聞2011年1月15日　Macro BEANSセンター　｢静電を検知する布　産技研らが開発成功　介護用シーツなどに応用｣

　【講演・展示】
  1. S. Takamatsu, T. Kobayashi, N. Shibayama, K. Miyake and T. Itoh,"Touch Fabric Sheet",AIST/LETI Workshop　2010.
  2. S. Khumpuang, K. Miyake and T. Itoh,"Continuous Fiber Processing for Electronic Textile Application",AIST/LETI Workshop　2010.
  3. 伊藤寿浩,｢メーター級大面積高機能デバイス実現化戦略　-高品位ナノ機能膜非真空連続形成とウィ―ビングMEMS-｣,平成22年度第4回 「フレキシブルデバイス技術分科会」　(2010).
  4. NanoTech2011　2011年2月16日-18日　Macro BEANSセンター

　【刊行物】
  1. 銘苅春隆,｢石英ガラスファイバーへの微細パターン転写=次世代MEMSデバイス開発に向けた熱インプリント加工=｣,光アライアンス2010年10月号,21(10)2010.

　2009年度

　【特許】
  • 2009年度研究成果として8件出願．

　【学会発表，論文】
  1. 銘苅春隆,高橋正春,福島絵理,桧山善仁,"2D to 3D Imprinting on Surface of Teflon PFA Inlet Tube",The 53rd International Conference on Electron, Ion, and Photon Beam Technology and Nanofabrication(EIPBN2009) (2009).
  2. 銘苅春隆,奥山千枝子,上野昭久,高橋正春,"Thermal Imprinting on Quartz Fiber using Glass-Like Carbon Mold",The 53rd International Conference on Electron, Ion, and Photon Beam Technology and Nanofabrication(EIPBN2009) (2009).
  3. 銘苅春隆,小泉修,上野昭久,高橋正春,"Formation of Inclined Sidewalls with Photolithography Moving Focus Position",8th International Workshop on High Aspect Ratio Micro Structure Technology(HARMST2009).
  4. 松本荘平,高田尚樹,松本純一,｢マイクロスケール混相流を応用する細管基材内構造形成｣,日本混相流学会年会講演会 (2009).
  5. 銘苅春隆,小泉修,上野昭久,高橋正春,"Guide structure with pole arrays imprinted on Nylon fiber",The 35th International Conference on Micro and Nano Engineering(MNE2009) (2009).
  6. 三村秋男,伊藤寿浩,武田宗久,｢インクジェットを用いた繊維状基材への薄膜塗布技術｣,第26回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム (2009).
  7. 柴山学久,伊藤寿浩,｢ダイコーティング法による繊維状基材へのナノ機能膜塗布技術｣,第26回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム (2009).
  8. 横山吉典,村上隆昭,吉田幸久,伊藤寿浩,｢ミストジェット技術によるSi微粒子吐出｣,第26回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム (2009).
  9. 村上隆昭,吉田幸久,横山吉典,伊藤寿浩,｢大気圧プラズマ化学輸送法を用いたシリコン成膜技術開発｣,第26回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム (2009).
  10. 銘苅春隆,高橋正春,福島絵理,桧山善仁,"Thermal roller imprint on surface of Teflon perfluoroalkoxy inlet tube",Journal of Vacuum Science and Technology B (2009).
  11. 銘苅春隆,奥山千枝子,上野昭久,高橋正春,"Thermal Imprinting on Quartz Fiber using Glasslike Carbon Mold",Journal of Vacuum Science and Technology B (2009).
  12. 銘苅春隆,高橋正春,"Imprinting of Guide Structures to Weave Nylon Fibers",AVS International Symposium & Exhibition(AVS 2009).
  13. 銘苅春隆,高橋正春,"Fiber Imprinting to Develop Fiber-On-Devices",The 8th International Nanoimprint and Nanoprint Technology Conference (NNT 2009).
  14. 石田敬雄,伊藤寿浩,"Excimer Assisted Low-Temperature Annealing of Electro-Spinning Deposited Titanium Oxide Nanowires",22nd International Microprocesses and Nanotechnology Conference　(MNC2009).
  15. 銘苅春隆,小泉修,上野昭久,高橋正春,"Guide structure with pole arrays imprinted on nylon fiber",Microelectronic Engineering (2009).
  16. 銘苅春隆,高木秀樹,高橋正春,｢繊維状基材の立体インプリント技術｣,SEMICON Japan2009 (2009).
  17. 三村秋男,柴山学久,武田宗久,伊藤寿浩,"High-speed Laser-sintering of Nano-metal Inks (Cu and Ag) for Inkjet Printing on Quartz Fiber Substrates",The 16th International Display Workshop (2009).
  18. 松本純一,高田尚樹,松本壮平,"Phase-Fieldモデル自由表面問題におけるCahn-Hilliard方程式の陰的混合有限要素法の検討",第23回数値流体力学シンポジウム (2009).
  19. 銘苅春隆,小泉修,上野昭久,高橋正春,"Inclination of mold pattern's sidewalls by combined technique with photolithography at defocus-positions and electroforming",Microsystem Technology (2009).
  20. 張毅,Lu Jian,三村秋男,松本壮平,伊藤寿浩,"MEMS-BASED EXPOSURE MODULE FOR CONTINUOUS LITHOGRAPHY PROCESS ON FIBER SUBSTRATES",The 23rd IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS2010).
  21. 三村秋男,柴山学久,武田宗久,伊藤寿浩,｢インクジェットによる石英ファイバへのAg配線技術｣,第24回エレクトロニクス実装学会講演会 (2010).
  22. 横山吉典,村上隆昭,吉田幸久,伊藤寿浩,｢ミストジェット技術を用いたSi微粒子塗布｣,第24回エレクトロニクス実装学会講演会 (2010).
  23. 高松誠一,小林健,柴山学久,三宅浩司,伊藤寿浩,｢導電性高分子ダイコーティング法を用いた大面積タッチセンサの製作方法に関する研究｣,第24回エレクトロニクス実装学会講演会 (2010).
  24. 銘苅春隆,高橋正春,福島絵理,｢スライド式ローラーインプリントによるテフロンPFA中空ファイバー表面へのパターニング｣,2010年度精密工学会春季大会　学術講演会 (2010).
  25. 銘苅春隆,奥山千枝子,上野昭久,高橋正春,｢石英ガラスファイバー表面での熱インプリントによる微細構造作製｣,2010年度精密工学会春季大会　学術講演会 (2010).
  26. 銘苅春隆,高橋正春,福島絵理,｢テフロンPFA中空ファイバーへのローラーインプリント｣,2010年春季　第57回応用物理関係連合講演会 (2010).
  27. 銘苅春隆,奥山千枝子,上野昭久,高橋正春,｢角型石英ガラスファイバー表面への熱インプリント｣,2010年春季　第57回応用物理関係連合講演会 (2010).
  28. 松本純一,高田尚樹,松本壮平,"Implicit mixed finite element method for phase-field model free surface flow",2nd International Workshops on Advances in Computational Mechanics (IWACOM-II) (2010).
　【刊行物】
  1. 「あらゆるモノの表面にデバイス　　適所で情報入出力　　印刷・繊維技術生かす」,日経産業新聞.
  2. 「大面積デバイスの連続製造　非真空と機織りで低コスト化」,日経マイクロデバイス　2009　7月号.
  3. 「繊維デバイスによる接触検知シートが登場｣,日経Tech-On!.
　2008年度
　
　【特許】
  • 2008年度研究成果として4件出願．

　【学会発表，論文】
  1. 伊藤寿浩，三村秋男，銘苅春隆，高橋正春，前田龍太郎: "Toward Development of Micromachining Process on Fiber Substrates″，第25回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム,（2008）.
  2. 松本純一，高田尚樹: 「Phase-Fieldモデルを用いた自由表面流れ直交基底気泡関数有限要素解析」，第22回数値流体力学シンポジウム/日本流体力学会，（2009）.
  3. 高田尚樹，松本純一，松本壮平: 「マイクロ流体デバイスのための拡散界面モデルを用いた二相流体挙動の数値シミュレーション」，日本機械学会関東支部第15期総会講演会/日本機械学会関東支部主催，（2009）.
  4. Junichi Matsumoto, Naoki Takada and Sohei Matsumoto："Two-Phase Flow Analysis based on a Phase-Field Model using Implicit Bubble Function Finite Element Method″，The 15th International Conference on Finite Elements in Flow Problems (FEF09)，（2009）.
　


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